[아이티투데이 김문기 기자]  ST마이크로일렉트로닉스(대표 마크로 카시스)가 압전 MEMS 기술을 상용화한다고 31일 발표했다.

ST의 박막 압전 MEMS 기술은 기본 공정 플랫폼으로 손쉽게 고객 맞춤화가 가능하기 때문에 전 세계 고객사와 협업해 특정 애플리케이션에 최적화된 전용 MEMS 제품 개발을 할 수 있다.

ST의 TFP 공정을 이용하는 고객 중 하나인 포라이트사가 이용하는 예시가 있다.  TLens 압전 액츄에이터를 사용해 투명 폴리머 필름의 형태를 바꿈으로서 사람 눈의 초점 기능을 모방한다. 

안톤 호프마이스터 그룹 부사장은 “수십억 개의 모션 센서를 생산해온 아그레떼 8인치 팹에서 압전 액츄에이터와 센서를 제조할 수 있게 됐으며 이를 통해 ST가 오랫동안 지켜온 세계적인 MEMS 디바이스 제조업체로서의 입지를 충분히 활용하게 된다”며 “ST의 TFP MEMS 기술은 시장의 판도를 바꾸고 새로운 비용 수익 시나리오를 창출해 결과적으로 수많은 새로운 애플리케이션을 가능하게 할 것”이라고 말했다.